Der Mass Flow Controller ES-500 regelt den Durchfluss von trockenen, nicht korrosiven und nicht brennbaren Gasen für analytische und technische Anwendungen.
Die Standardkalibrierung erfolgt mit Luft. Kalibrieren auf andere nicht korrosive und nicht brennbare Gase wird auf Wunsch angeboten.
Die Verwendung eines 5 µm Filters am Gaseinlass wird empfohlen. Der Massendurchflussregler kann nach Bedarf als MFM oder MFC konfiguriert werden.
Der Massendurchflussmesser (MFM) ES-500 besitzt einen thermischen Stromungssensor, der sehr schneller Reaktionsverhalten aufweist.
Ein direkt wirkendes elektromagnetisches Proportionalventil gewährleistet als Stellglied eine hohe Ansprechempfindlichkeit und dadurch genaue Einstellung der Gasströmung.